Photolithography Pwosesis Optimizasyon kòmanse ak flite à

Photoresist, yon gwo -materyèl debaz pri nan fabrikasyon presizyon, afekte dirèkteman pri total pwodiksyon ak benefis anviwònman an akòz to itilizasyon li yo. Nan pwosesis tradisyonèl vire kouch, plis pase 80% nan fotorezist la gaspiye akòz fòs santrifujeur, sa ki lakòz yon to itilizasyon materyèl anjeneral anba a 20%. Flite tradisyonèl de -likid tou reyalize yon to itilizasyon sèlman 20%–40%, ogmante pri pwodiksyon ak jenere plis polyan akòz dechè fotorezist.

Teknoloji flite atomizasyon ultrasons, atravè efè sinèrjetik nan livrezon presyon ki ba - ak depozisyon egzak, ogmante itilizasyon materyèl photoresist a plis pase 90%, e menm jiska 95% nan kèk senaryo. Sa a ekonomize 30%-50% nan konsomasyon fotorezistan konpare ak kouch tradisyonèl vire, siyifikativman diminye pri pou sèvi ak gwo -fotorezistans espesyalite. Anplis de sa, fonksyon an osilasyon ultrasons nan ekipman an kenbe chanèl likid yo degaje, diminye pwobabilite pou bouche bouch ak bese pri antretyen D '. Flite ki pa -kontak evite domaj mekanik nan substrats frajil tankou gaufr ak substrats optik, amelyore pwodiksyon pwodwi ak plis diminye depans pwodiksyon an jeneral. Pandan se tan, itilizasyon materyèl amelyore diminye emisyon polyan ki soti nan dechè fotorezistans, elimine twòp polisyon evaporasyon sòlvan, epi sipòte solisyon ki baze sou dlo -, aliman ak tandans devlopman vèt ak ba-kabòn nan semi-conducteurs ak endistri manifakti optik.

Kòm fabrikasyon presizyon ap deplase nan direksyon miniaturizasyon, dansite segondè, ak twa -dimansyon, limit yo nan teknoloji tradisyonèl kouch nan manyen estrikti konplèks, divès kalite substra, ak espesifikasyon divès kalite ap vin de pli zan pli aparan. Photoresist espre atomizasyon ultrasons, ak kapasite ajisteman pwosesis fleksib li yo, reyalize adaptabilite konplè nan senaryo miltip ak bezwen divès.

An tèm de konpatibilite substrate, metòd flite ki pa -kontak li yo pafètman adapte ak substrats rijid (tankou silisyòm wafers ak lantiy vè) ak substrats fleksib (tankou fim optik fleksib), evite risk pou yo grate substrats frajil ki te koze pa kouch tradisyonèl kontak ak siyifikativman diminye pousantaj la rupture nan substra frajil tankou silisyòm mens. Konsènan konpatibilite estriktirèl, ti gout ti gout ka antre byen fon nan estrikti segondè rapò aspè (tankou tranche gwo twou san fon ak TSV vias) avèk èd nan yon gaz konpayi asirans. Konbine avèk etap chofaj ak teknoloji geri, li siyifikativman amelyore pwoteksyon etap. Nan estrikti TSV ak yon rapò aspè nan 10: 1, pwoteksyon an fotorezist nan pati anba a nan via a ka depase 92%, efektivman rezoud pwoblèm yo nan kouch inegal ak ki manke anba sou twa -dimansyon estrikti ki te koze pa kouch vire tradisyonèl yo. Sa a bay yon asirans serye pou fabrikasyon estrikti konplèks tankou pil 3D IC, chanm MEMS, ak aparèy gid ond optik.

An tèm de konpatibilite materyèl ak spesifikasyon, ekipman an konpatib ak divès kalite fotorezists sòti nan viskozite ki ba (5-20 cps) ak gwo viskozite (50-100 cps), ki gen ladan fotorezists pozitif, fotorezists negatif, ak segondè -photoresists pèfòmans tankou fotoresist ki baze sou poliimid. Li adapte ak tout espesifikasyon soti nan echantiyon laboratwa 2-pous nan 12-pous pwodiksyon an mas, epi li ka Customize chemen flite ak paramèt dapre senaryo aplikasyon diferan (tankou fabwikasyon griyaj diffraction ak preparasyon kouch anti-reflektif) pou reyalize konfigirasyon pwosesis différenciés.

Photoresist espre atomizasyon ultrasons, ak presizyon kouch siperyè li yo, itilizasyon materyèl ultra -, adaptabilite aplikasyon lajè, ak kapasite pwodiksyon an mas ki estab, te konplètman kraze limit yo nan teknoloji kouch tradisyonèl yo. Li non sèlman diminye depans pwodiksyon fabrikasyon presizyon ak amelyore compétitivité pwodwi, men tou li kondwi inovasyon teknolojik nan domèn tankou semi-conducteurs, mikwo-nano optik, ak MEMS. Kontriye ekspansyon kapasite semi-conducteur mondyal ak sibstitisyon domestik akselere, teknoloji sa a ap kontinye jwe yon wòl sipò prensipal, bay yon nouvo chemen pou devlopman rafine, vèt, ak gwo -echèl nan fabrikasyon ak presizyon wo-, epi ede endistri ki gen rapò yo reyalize bon jan kalite amelyore-.