Kouch espre ultrasons nan endistri semi-kondiktè

Kouch espre ultrasons pou endistri semi-conducteurs se yon presizyon mens -teknoloji depozisyon fim ki itilize gwo -frekans enèji ultrasons atomize materyèl semi-conducteurs (tankou photoresists ak materyèl konduktif) nan ti gout amann, inifòm. Lè sa a, ti gout sa yo byen flite sou sifas substra a lè l sèvi avèk yon gaz transpòtè, sa ki lakòz gwo-bon jan kalite, inifòm kouch fim mens-. Teknoloji sa a ofri avantaj tankou efikasite segondè, segondè presizyon, pèt materyèl ki ba, ak mens, kouch inifòm. Li se lajman ki itilize nan fabrikasyon semi-conducteurs, nouvo enèji, ak kouch vè, ranplase metòd tradisyonèl espre.

 

Photoresist flite se yon teknoloji pwosesis kle pou reyalize inifòm photoresist kouch nan aplikasyon pou fabrikasyon presizyon tankou semi-conducteurs ak panno ekspozisyon. Li se patikilyèman apwopriye pou kouch substra ki pa-planè (tankou chips 3D ak aparèy MEMS) oswa gwo substrats (tankou panno OLED), adrese limit yo nan kouch vire tradisyonèl nan aplikasyon espesifik.

Esans nan flite atomizasyon fotorezistan se transfòme fotorezist likid nan echèl inifòm micron-(oswa menm echèl nanomèt-) nan atomizasyon fizik. Lè sa a, ti gout sa yo delivre nan sifas la substra lè l sèvi avèk jisteman kontwole Airflow ak presyon. Alafen, ti gout yo gaye, fusion, ak kwit sou substra a pou fòme yon fim kontinyèl, inifòm fotorezist.

 

Flite atomizasyon ultrasons se yon teknoloji kle nan jaden fabrikasyon presizyon tankou kouch photoresist ak preparasyon fonksyonèl fim mens. Apwòch debaz li se sèvi ak vibrasyon ultrasons ki wo -frekans pou transfòme materyèl likid (tankou fotorezistans, précurseurs metal, ak reyaktif byolojik) nan ti gout inifòm nan echèl mikromèt oswa menm nanomèt. Lè sa a, ti gout sa yo transpòte nan sifas substra a atravè koule lè presi, finalman fòme yon fim kontinyèl, inifòm. Konpare ak atomizasyon presyon ak atomizasyon elektwostatik, atomizasyon ultrasons ofri avantaj sou atomizasyon presyon ak atomizasyon elektwostatik, sa ki lakòz aplikasyon toupatou li yo nan aplikasyon ki mande estabilite materyèl ekstrèmman wo ak presizyon kouch, akòz mank li nan taye mekanik ak gwosè ti gout trè kontwole.

 

Prensip travay

1. Atomizasyon ultrasons:

Nwayo aparèy la se bouch ultrasons la, ki gen yon transducer ki konvèti enèji elektrik nan gwo -vibrasyon mekanik frekans.

2. Atomizasyon likid:

Kòm likid (solisyon, sol, oswa sispansyon) ap koule nan bouch la, atomizè a vibre jenere vibrasyon. Lè anplitid Vibwasyon an depase tansyon sifas likid la, likid la kase an ti gout micron -.

3. Transporteur gaz livrezon:

Lè sa a, ti gout yo atomize yo transpòte respire nan sifas substra a pa yon kantite predetèmine nan gaz konpayi asirans (tankou lè).

4. Depozisyon fim mens:

Ti gout yo depoze sou substra a, fòme yon kouch fim mens kontinyèl.

Avantaj nan aplikasyon semi-conducteurs

Segondè Precision ak Inifòmite:

Kapasite pou depoze kouch fim ultra-mens ak inifòm trè enpòtan pou aplikasyon nan fabrikasyon semi-conducteurs, tankou fotorezistans, fim kondiktè, ak fim izolasyon, ki mande anpil presizyon.

Pèt materyèl redwi:

Konpare ak flite tradisyonèl, flite ultrasons pwodui nòmalman pa gen okenn rebondisman ti gout oswa depase pwojeksyon, ogmante itilizasyon materyèl plizyè fwa, fè li patikilyèman apwopriye pou kouch materyèl chè.

Flite mou:

Pwosesis la flite se dou epi li pa domaje substra a, fè li apwopriye pou materyèl semi-conducteurs frajil ak konpozan elektwonik.

Bouch divèsifye:

Yo ka chwazi bouch ki varye lajè, longè, fòm, ak pousantaj koule pou satisfè kondisyon aplikasyon espesifik, sa ki pèmèt inifòm kouch nan zòn lokalize oswa gwo.