Kouch espre ultrasons: Metòd kouch pi pito pou endistri semi-kondiktè a

RPS-sonic fabrike ekipman kouch ultrasoni dedye a bay teknoloji inovatè ak solisyon flite pwodwi pou kliyan nan endistri semi-conducteurs. Li bay solisyon flite à avanse pou manifaktirè ekipman semi-conducteurs domestik, manifaktirè ekipman elektwonik, ak enstitisyon rechèch.

Flite atomizasyon fotorezist à se yon teknoloji debaz pou kouch fotorezist egzak nan fabrikasyon semi-conducteurs ak mikwo-elektwonik. Avantaj debaz li yo se kouch inifòm, fim mens, ak ekonomize materyèl.

 

Prensip debaz: Photoresist likid kase nan nano- nan micron-tilèt gwosè lè l sèvi avèk Vibration ultrasons. Lè sa a, ti gout sa yo jisteman delivre nan sifas la substra (tankou silisyòm wafers oswa vè) atravè koule lè, fòme yon fim inifòm mens. Gwosè a ti gout kontwole pa tou de frekans nan Vibration ak viskozite nan fotorezist la; pi wo frekans lan, se pi rafine ti gout yo.

 

Valè aplikasyon kle: Segondè Precision Kouch: ekselan inifòmite gout; devyasyon epesè fim ka kontwole nan ± 5%, adapte ak egzijans presizyon nan mikwo- ak nano-fabrikasyon.

 

Segondè Itilizasyon Materyèl: Konpare ak kouch vire tradisyonèl (ak yon to fatra materyèl ki depase 50%), atomizasyon flite mande pou sèlman yon ti kantite fotorezist pou reyalize epesè fim sib la, ekonomize depans yo.

 

Apwopriye pou substrats konplèks: Ou ka itilize pou kouvri substrats ki pa -planè, gwo-, oswa ki gen fòm iregilye, evite epesè kwen ak sant-dès mens ki te koze pa fòs santrifujeur nan kouch vire.

 

Diminye defo: Ti gout yo pa gen gwo-enpak presyon, diminye defo tankou bul ak twou nan fim fotorezistan, amelyore rezolisyon ak konsistans modèl fotolitografi.

 

Aplikasyon tipik:

Semiconductor chip fabrikasyon: Yo itilize pou kouch amann nan fotorezist sou sifas wafer, sipòte pwosesis debaz tankou fotolitografi ak grave.

 

Pwodiksyon panèl ekspozisyon: Adapte pou kouch fotorezist sou substrats OLED, Micro LED, ak lòt aparèy, asire inifòmite pixel.

Mikwo-Electro-Sistèm Mekanik (MEMS): Bay fim fotorezist egzak pou fabrikasyon mikwostrikti aparèy tankou mikwo-detèktè ak actuators.

 

Chwazi bon à photoresist atomizasyon flite ekipman mande pou konsiderasyon konplè sou plizyè faktè, ki gen ladan presizyon flite, karakteristik likid, kalite ekipman, ak kalite bouch. Men pwen seleksyon kle yo:

 

Flite Precision Kondisyon: Pou prepare nanokal fim mens, tankou fotorezist flite sou gauf semi-conducteurs, 100 - 12kHz ajutaj atomizasyon yo apwopriye. Sa yo pèmèt pou kontwole egzak pousantaj koule ki ba anpil ak patikil atomize ultra-. Pou prepare sèlman kouch inifòm nan nivo micron, 40-60kHz ajutaj atomizasyon yo pi efikas, balanse pousantaj koule ak efikasite flite pandan w ap kenbe yon sèten nivo presizyon.

Karakteristik likid: Viskozite fotorezist la se yon konsiderasyon enpòtan. Pou ba-viskozite (<30cP) photoresists, 100-120kHz is appropriate; while for medium-to-high viscosity (30-50cP) photoresists, 40-60kHz is more suitable. Furthermore, the volatility and corrosiveness of the photoresist must be considered. If the photoresist is corrosive, an external atomization nozzle should be selected.

 

Kalite Ekipman: Pou ti -pwodiksyon pakèt oswa ti-zon mens-fabwikasyon fim nan laboratwa a, yon ti, fasil -yo{4}}opere laboratwa-sistem espre kouch espre, tankou RPS-SONIC-P400, apwopriye. Pou liy pwodiksyon gwo-echèl, gen yon sistèm kouch espre etaj-debout/pwodiksyon-tankou RPS-SONIC-P 490. Sistèm sa a ka ekipe ak plizyè sistèm bouch pou reyalize gwo -flite zòn, selon zòn ki nesesè yo.

 

Tip bouch: Si substra a se yon semiconductor ki pa -planè ak mikrostruktur sifas, yo ka chwazi yon bouch ultrasons gaye. Li ka flite sifas vètikal oswa koube ak ang. Pou gwo -zon fotoresist flite, tankou mens -fim selil solè flite, yon lajè -bouch ultrasons flite pi apwopriye. Konsepsyon espesyal chanèl koule li yo dispèse ak redireksyon gaz konpayi asirans lan, sa ki lakòz vapè dlo likid ultrasons atomize yo flite soti nan yon fòm fanatik, konsa elaji lajè a espre.

 

Frekans ultrasons: Frekans gen yon enfliyans desizif sou gwosè a nan patikil atomize ak bon jan kalite a kouch. Segondè frekans (tankou pi wo a 100kHz) ka pwodwi pi piti, plis inifòm ti gout, fè yo apwopriye pou prepare mens, kouch inifòm ak lis sifas segondè, adezyon fò, ak bon dansite. Sa a aplikab a jaden ki gen egzijans trè wo presizyon, tankou mikwo-elektwonik. Si kondisyon yo pou inifòmite kouch yo pa patikilyèman sevè epi yo bezwen yon gwo volim kouch, yo ka chwazi yon aparèy frekans pi ba.